

紫外光老化
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项目简介
UPS用于测定导体或半导体材料的功函数与价带顶。
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常见问题
1. 测试结果为什么跟文献或者预期有偏差?
第一,由于UPS测量中光激发电子的动能在0-20eV范围,在此能量区间的电子逃逸深度较小,且随能量急剧变化,材料表面的导电性、污染程度和粗糙度等因素会对测量结果产生较大影响,轻则导致谱图的峰位移动和峰形变化,重则导致无信号。UPS适用于分析表面均匀洁净的导体以及导电性较好的半导体薄膜材料。对于合成的粉末样品,影响因素较多,UPS测试存在一定风险 ; 第二,UPS测试过程中,紫外光的扫描范围仅为样品中的某个微小区域,如果样品制备不均匀,或者测试区域恰好条件不佳,也可能会影响测试结果;
2. 测试老师给出的数据分析结果准确吗,是否可以调整?
测试老师给出的只是分析结果仅供参考,因为测试老师不知道每个样品具体是什么材料,只能根据自己的习惯和经验大致作图分析,所以我们一般还需要根据对样品性质的了解,对数据分析结果微调甚至大的调整。
3. UPS是否需要清洁表面
因UPS采集信息较浅,若样品表面容易变质, 可清洁掉表面材料(一般10nm内),测试清洁后的样品表面
4. 偏压和无偏压的数据分别时候时候用?
①无偏压模式:验证样品导电性、测定价带顶;
②偏压模式:测定功函数、价带顶,验证半导体类型(P型/N型)。
5. 怎么分析价带顶和功函数
未加偏压:看低结合能一侧(费米边),做切线与右侧直线(平行于X轴)的交点,即为价带顶。
示例:
若数据为施加偏压后的,例如,加-5V偏压,则需要先校正,看高结合能一侧(二次电子截止边),做切线与左侧直线(平行于X轴)的交点,用21.22减去交点的值,即为功函数。
6. XPS和UPS在测试上的异同
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