XPS, 全称为X-ray Photoelectron Spectroscopy（X射线光电子能谱）, 是一种使用电子谱仪测量X-射线光子辐照时样品表面所发射出的光电子和俄歇电子能量分布的方法。XPS可用于定性分析以及半定量分析, 一般从XPS图谱的峰位和峰形获得样品表面元素成分、化学态和分子结构等信息，从峰强可获得样品表面元素含量或浓度。
一般有以下几个方面的应用：
1、元素组成分析 对于未知样品，首先进行全谱扫描，初步判断样品表面的元素组成；然后根据全谱扫描确定目标元素的窄区扫描能量范围，对其进行高分辨细扫描，从而获得其准确的结合能位置。
2、化学态分析 XPS 可通过测定内层电子的化学位移来推知原子的结合状态和电子分布状态等信息。
3、半定量分析 XPS 不仅可用于定性分析（元素组成及化学态分析），由于其峰强度与元素含量之间具有一定的相关性，通过测量光电子峰的强度还可以对元素进行定量分析，目前而言只将 XPS 用于元素的半定量分析。
4、深度剖析 通过氩离子枪溅射、机械切削以及改变掠射角等方式可以实现 XPS 的深度剖析，从而对一定深度范围内的薄层剖面进行元素组成和化学态分析，可提供材料的均匀性及元素的空间分布等信息。
XPS数据分析可以对全谱进行定性定量分析；精细谱定量分析，以及标注拟合元素的化学态、峰位置和含量；此外，XPS数据分析还可以做ARXPS线扫、面扫、深度剖析等特殊数据的分析。
使用的软件有Casa，Multipak和Avantage，主要分析方法是查找资料，根据数据的峰形、结合能等信息判断元素组成，化学态，价态等。
1. 样品精细谱扫出谱峰？为什么全谱里没有呢？
全谱主要是用来定性分析的，设置参数的步长比较大，含量低的在全谱里扫不出谱峰。但是精细谱扫出谱峰就表示有该元素。
2. 每种元素的检测限一样么？
不一样。每种元素的主峰的灵敏度因子都不一样。
3. 怎么判断拟合是好是坏，是拟合了两个峰算好还是拟合了三个峰算好？
看波动大小，越小越好；还要看对应的物理意义。波动如下图所示。具体拟合几个峰，要参考样品本身的情况，以及拟合的贴合度，没有严格的界定哪个更好。
